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電子束區(qū)域熔煉爐(提純制備單晶)圓滿完成

發(fā)布時間:2022年10月25日 20:55:44

      磐一(西安)裝備技術(shù)有限公司專業(yè)設(shè)計(jì)的電子束區(qū)域熔煉設(shè)備由爐體部分、夾料部分、真空系統(tǒng)部分、電子槍部分、高壓電源部分、自動控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等組成。要求整體結(jié)構(gòu)緊湊,布局合理,維修維護(hù)方便。

      (1)爐體部分:爐體為立式結(jié)構(gòu),包括304L不銹鋼爐體、不銹鋼爐門、碳鋼架體等配件。

      (2)溫度控制系統(tǒng):加熱部分、測溫控溫儀表等。

      (3)電子槍:電子槍有三塊聚束極和一塊紫銅底板以及燈絲和相關(guān)高壓絕緣件組成。

      (4)真空與氣氛控制系統(tǒng):真空泵、真空測量裝置、管道、閥門、接口等。管道、閥門一律采用不銹鋼或更優(yōu)質(zhì)材質(zhì)。

      (5)電子槍移動系統(tǒng):電子槍移動系統(tǒng)應(yīng)帶有水冷系統(tǒng),由不銹鋼制造,伺服電動缸進(jìn)行傳動。

      (6)集成控制系統(tǒng):可將爐體、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等相關(guān)儀表的控制集成到控制臺)。

      (7)冷卻水循環(huán)系統(tǒng):工藝?yán)鋮s水循環(huán)管道、閥門均采用不銹鋼或更優(yōu)材質(zhì),以確保水質(zhì)穩(wěn)定。

      (8)安全連鎖裝置與預(yù)警系統(tǒng):冷卻水和氣氛控制中超壓和冷卻能力不足時,有安全連鎖和必要預(yù)警。

    電子束區(qū)域熔煉是一個復(fù)雜的物化提純過程,材料中的雜質(zhì)由于在固態(tài)和液態(tài)中的分配系數(shù)不同,經(jīng)過區(qū)熔生長被驅(qū)趕到料棒的末端而起到提純作用。對于金屬雜質(zhì)來說,其去除不僅依靠區(qū)熔提純,依靠高溫下的直接蒸發(fā)。氣體和其它依靠高真空下的脫氣和化學(xué)反應(yīng)去除。

    此項(xiàng)目的圓滿完成,標(biāo)志著此項(xiàng)技術(shù)真正實(shí)現(xiàn)了“中國造”;


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